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根據(jù)用戶用氣需要，將氬氣與氫氣混合氣進入裝有鈀催化劑的除氧器中。這樣氬氣等氣體中含有的微量氧與氫氣在鈀催化劑的作用下發(fā)生反應，即O2+2H2→2H2O。再經冷卻除水后進入裝有分子篩的干燥器進行干燥吸附處理。從而得到高純使用氣體。

該裝置主要由除氧器、冷卻器、冷干機、干燥器、各種控制系統(tǒng)等組成。