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VPSA真空脫附制氧機原理：
真空解吸變壓吸附空分制氧，是采用優(yōu)質(zhì)沸石分子篩吸附氮氣，未被吸附的氧氣在塔頂聚集并做為產(chǎn)品氣輸送至氧氣貯罐。當處于吸附狀態(tài)的吸附塔臨近飽和之前，該塔自動減壓解吸再生， 而另一只吸附塔開始加壓吸附制取氧氣。兩只吸附塔交替工作，完成制氧的工藝過程。吸附塔解吸再生時，采用真空解吸，稱之為VPSA。

特點：
能耗較低，生產(chǎn)每方氧氣的電耗≤0.5 Kw；
自動化程度高，操作人員少；
裝置啟動快，開停機方便；
維護和保養(yǎng)費用低；
裝置運行穩(wěn)定性、可靠性高；
氣動控制閥門全部進口，安全可靠，使用壽命長；
主要控制設備全部進口，可根據(jù)吸附塔內(nèi)壓力的變化而自動調(diào)節(jié)閥門開度以維持正常生產(chǎn)；
采用原裝進口專用氧分子篩吸附劑，吸附性能好。

主要技術指標：
氧氣產(chǎn)量：100～3000Nm3/h
氧氣純度：50～95%之間可調(diào)
出口壓力：0.015～0.05MPa(可調(diào))